A belgiumi felfedezte, hogyan lehet növelni az EUV szkennerek sebességét egyszerű körülmények között

Új módszer a mikrochipek képfeldolgozásának felgyorsítására

A chipgyártás során a legfontosabb lépés a mintát a maszkból a fényérzékeny rétegre való átvinni. Ez a folyamat egyensúlyt igényel a minőség és a felhőgépesség között, míg a hagyományos gyorsítási módszerek – a sugárzás erősítése vagy a fotoreziszt érzékenységének növelése – problémákkal járnak.

Az Imec belgiumi laboratóriuma váratlan megoldást javasolt, amelyet eddig még nem vizsgáltak az iparban.

Hogyan zajlik a szokásos folyamat
1. Expozíció

A lemezt EUV-sugárzóval skannálják.

2. Öntözés és expozíción utáni kezelés

Az expozíció után a lemezt egy dobozba helyezik, ahol normális körülmények között, tiszta szobában, légköri nyomás alatt, 21 % oxigénnel (tengerszint) végzik az öntözést és a további kezelést.

Az új kísérleti elrendezés
Az Imec zárt dobozt hozott létre, amelyben érzékelők vannak a gázkeverék összetételének és a anyagparamétereknek a szabályozására. Ez lehetővé teszi az öntözést és expozíción utáni kezelést különböző gázkeverékek mellett, valamint a fotoreziszt adatait minden egyes lépésben.

Kulcsfelfedezés
- Az oxigén koncentrációjának 50 % -ra növelése az öntözés során körülbelül 15–20 %-kal gyorsítja a fotoreziszt fényérzékenységét.

- Ez azt jelenti, hogy kisebb EUV-sugárzás mennyiségével is elérhetők a kívánt struktúra méretek – vagy gyorsabban áthelyezhető a minta, vagy kevesebb energiával lehet dolgozni anélkül, hogy veszélyeztetnénk a vonalak minőségét.

Miért működik
Az oxigén növelése elősegíti a kémiai reakciókat az expozíció alá eső fém-oxid fotoreziszt (MOR) részekben. Ezek anyagok már ígéretesek EUV-projekcióra alacsony és különösen magas számított nyílásnál. Ezért egy egyszerű gázkeverék módosítása növelheti a modern EUV-szkennerek teljesítményét.

Gyakorlati jelentőség
- Hatékonyság növelése anélkül, hogy módosítani kellene a szkennerek saját magát.

- Új lemezkezelési feltételek és kapcsolódó költségek bevezetésének szükségessége.

- Lehetséges érdeklődés a gyártók részéről, bár még nem ismert, milyen gyorsan fogadják el ezt a „lifehack”-et.

Így az Imec bebizonyította, hogy a gázkeverék módosítása az öntözési folyamatban hatékony eszközzé válhat a fejlett mikrochipek gyártásának felgyorsítására.